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華燦光電(蘇州)有限公司污染物排放、污染防治 設施運行及監測情況
2019-05-10

廢水防治措施

        廠區排水系統采用清污分流、雨污分流體制。廢水包括生產/公輔廢水和生活污水。生產、公輔廢水又分為含氮廢水、綜合廢水、冷卻設備排水。含氮廢水經廠內處理后回用;綜合廢水(不含氮廢水、酸堿廢水、研磨廢水)經綜合處理后與生活污水混合,一并接入區域污水處理廠處理,達到《城鎮污水處理廠污染物排放標準》(GB18918-2002)一級A標準及《太湖地區城鎮污水處理廠主要水污染物排放限值》(DB32/1072-2007)污水處理廠I類標準后,排入二干河;

廢氣防治措施

        1.外延廠房

        外延廠房產生的廢氣主要有外延爐尾氣。外延爐尾氣主要成分為氨和少量粉塵,各臺外延爐尾氣先分別經爐內自帶除塵過濾器過濾后再經管道匯合后一起通入氨回收處理設備處理,處理后的廢氣經排氣筒達標排放。烤盤過程產生的氯化氫和少量未反應的氯氣,經管道收集后送至堿液噴淋吸收塔處理,經排氣筒達標排放。外延片生產過程中產生的粉塵、甲烷和未完全反應的砷烷、磷烷先經爐內自帶除塵過濾器過濾粉塵,再經管道匯合后一起通入次氯酸鈉溶液吸收處理裝置處理經排氣筒達標排放。

        2.芯片廠房

        芯片廠房產生的廢氣主要是外延片酸洗過程產生的酸洗廢氣(硫酸霧)、進行SiO2鈍化、沉積時未反應的硅烷和笑氣(氮氧化物)、ICP刻蝕時未反應的氯氣、SiO2刻蝕產生的氟化物、鈍化、BOE刻蝕時產生的氟化氫、ITO刻蝕過程中產生的氯化氫都經收集后送至堿噴淋吸收,然后通過排氣筒達標排放;光刻產生的非甲烷總烴,去膠、去蠟產生的丙酮、乙醇、異丙醇和非甲烷總烴收集后送至RTO處理裝置處理,然后通過排氣筒達標排放。

        3.食堂

        食堂烹飪油煙經脫油煙機處理后通過排氣筒達標排放。

 噪聲防治措施

        公司生產設備屬于精密設備,噪聲值較低,且都位于封閉的車間內,主要噪聲源為公輔工程的冷卻塔、空壓機、風機、水泵、氣體純化器等,源強在77~85dB(A)。為降低噪聲排放對周圍環境的影響,選用高效低噪聲的設備,高噪聲設備均布置在室內或者不同時使用,合理布置廠區平面布局,利用隔聲、減震、吸聲、消聲、綠化等措施控制廠界噪聲。

        公司每年會對廢水、廢氣、噪聲進行年度檢測,檢測結果均符合國家標準,2018年11月底委托江蘇雁藍科技有限公司對公司廢水、廢氣、噪聲進行了檢測,檢測報告編號為(2018)環檢(綜)字第(W0952-01)號,檢測數值均符合標準。

 


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